Van Màng Khí Nén Độ Tinh Khiết Cao SMC LVA40-04-B – Thân Nhựa Flour polymer PFA/PTFE Kháng Hóa Chất Ăn Mòn, Cổng Kết Nối 1/2″, Cơ Cấu Thường Đóng N.C. Chuyên Dụng Cho Ngành Bán Dẫn & Hóa Chất Tinh Khiết
Trong các dây chuyền sản xuất vi mạch bán dẫn (Semiconductor), màn hình tinh thể thể lỏng (LCD/OLED), công nghệ sinh học và hệ thống phân phối nước siêu tinh khiết (UPW / DI Water) hay hóa chất ăn mòn mạnh (axit, kiềm, dung môi tinh khiết), việc kiểm soát dòng chảy đòi hỏi thiết bị không được phát sinh hạt bụi mịn (Low particle generation) và không bị ăn mòn kim loại. Dòng van màng nhựa chất lượng cao SMC LVA Series (Air Operated High Purity Valve) thuộc tập đoàn SMC (Nhật Bản) là tiêu chuẩn kỹ thuật hàng đầu đáp ứng các yêu cầu khắt khe này.
Mã sản phẩm SMC LVA40-04-B là dòng van màng tác động bằng khí nén (Pilot Air Operated) cấu hình Thường đóng (Normally Closed – N.C.). Với thân van làm bằng nhựa PFA/PTFE cao cấp và đường kính lỗ chảy (Orifice) 10 mm, van cho phép kiểm soát an toàn tuyệt đối các chất lỏng có độ tinh khiết cao mà không gây nhiễm bẩn dòng chảy.
Giải mã chi tiết cấu trúc kỹ thuật từ mã hiệu SMC LVA40-04-B (Series Rules)
Hệ thống quy chuẩn mã của SMC phân tích chi tiết cấu hình phần cứng:
LV: Dòng van điều khiển chất lỏng tinh khiết (High Purity Chemical Valve).
A: Cơ chế tác động bằng khí nén bên ngoài (Air operated type).
40: Cỡ thân van (Body size 4) – Kích thước lỗ chảy Orifice 10 mm (Dải lưu lượng Cv 1.8 : 2.0).
0 (Ký tự thứ 4): Trạng thái vận hành van = Thường đóng (N.C. – Normally Closed).
04: Kích thước cổng kết nối chất lỏng = 1/2″ (Tương đương đường kính 12.7 mm / Kích thước ống 1/2 inch).
B: Tùy chọn tích hợp Cụm điều chỉnh lưu lượng (Flow rate adjustment mechanism) hoặc tùy chọn đế gá/chỉ báo vị trí.
Bảng thông số kỹ thuật cốt lõi (Xác thực từ tài liệu kỹ thuật SMC Corporation Japan)
| Thuộc tính đặc tính | Giá trị cấu hình chi tiết của thiết bị SMC |
| Model / Mã sản phẩm | LVA40-04-B |
| Thương hiệu | SMC (Nhật Bản – Japan) |
| Loại thiết bị | Van màng điều khiển bằng khí nén (Air Operated High Purity Valve) |
| Nguyên lý tác động | Thường đóng (N.C. – Khí nén vào cổng Pilot để mở van) |
| Đường kính lỗ chảy (Orifice) | 10 mm |
| Kích thước cổng (Port Size) | 1/2″ (Kích thước đường ống 1/2 inch) |
| Vật liệu thân (Body Material) | PFA / PTFE (Nhựa Fluoropolymer siêu tinh khiết) |
| Vật liệu màng (Diaphragm) | PTFE (Màng chắn cách ly hoàn toàn) |
| Môi chất vận hành | Nước siêu tinh khiết (UPW), Hóa chất ăn mòn, Dung môi tinh khiết |
| Áp suất chất lỏng (Fluid P) | 0 : 0.5 MPa |
| Áp suất khí nén điều khiển | 0.3 : 0.5 MPa |
| Cổng khí điều khiển (Pilot) | Rc 1/8 (Hoặc M5 tùy phiên bản gá) |
| Nhiệt độ môi trường | 0 : 60 C |
| Chịu áp suất ngược (Withstand P) | Tối đa 0.3 MPa |
ĐỒNG BỘ DANH MỤC VẬT TƯ (BOM) & PHỤ KIỆN THAY THẾ
Để tích hợp hoàn chỉnh van màng SMC LVA40-04-B vào hệ thống phân phối hóa chất tinh khiết, danh mục vật tư phụ trợ bao gồm:
Đầu nối ống nhựa PFA High Purity (Fluoropolymer Fittings):
Đầu nối siết ống PFA chuyên dụng SMC LQ Series: Mã SMC LQ3B4A hoặc SMC LQ2B4A (Kích thước 1/2″).
Ống dẫn nhựa PFA/PTFE siêu tinh khiết:
Ống PFA chịu hóa chất độ tinh khiết cao: Mã SMC TL0403 hoặc SMC TIL07 (Kích thước 1/2″).
Van điện từ điều khiển khí Pilot (Pilot Solenoid Valve):
Van điện từ 3/2 cấp khí nén điều khiển mở van LVA: Mã SMC SY3120-5LOU-C6 hoặc SMC VO307-5DZ.
Đầu nối khí nén điều khiển & Ống PU:
Đầu nối nhanh ren Rc 1/8 ra ống 6 mm: Mã SMC KQ2H06-01S và Ống PU SMC TU0604.
FAQ (CÂU HỎI THƯỜNG GẶP CỦA KỸ SƯ BẢO TRÌ)
Q: Tại sao bắt buộc phải dùng van màng chất liệu PFA/PTFE như SMC LVA40-04-B trong ngành bán dẫn thay vì van inox 316L?
A: Trong sản xuất bán dẫn, các loại axit mạnh (như HF, HCl, HNO3) hay nước siêu tinh khiết (UPW) có khả năng ăn mòn hoặc làm trích xuất các ion kim loại (Fe3+, Cr3+ từ inox 316L. Các ion kim loại tự do này sẽ làm hỏng cấu trúc vi mạch của wafer. Nhựa PFA/PTFE có tính trơ hóa học tuyệt đối, không nhả tạp chất và bề mặt siêu nhẵn ngăn bám dính vi sinh vật.
Q: Áp suất khí nén cấp vào cổng Pilot để vận hành van LVA40-04-B tối thiểu là bao nhiêu? Nếu áp suất khí pilot bị sụt giảm thì hiện tượng gì xảy ra?
A: Áp suất khí pilot tối thiểu để thắng lực lò xo và mở van hoàn toàn là 0.3 MPa (3 bar). Nếu áp suất khí pilot giảm dưới 0.3 MPa, màng van sẽ không mở hết hành trình, gây sụt giảm lưu lượng dòng chảy hóa chất hoặc van không thể mở hoàn toàn.
